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簡要描述：元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機溫度控制裝置該如何選型
產(chǎn)品型號：AES-4535廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2024-01-07訪 問 量：2010| 品牌 | LNEYA/無錫冠亞 | 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 儀器種類 | 一體式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機采用德國EBM軸流風(fēng)機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機溫度控制裝置該如何選型
光刻機溫度控制裝置該如何選型
如何選擇合適的工業(yè)冷水機組，在機組的設(shè)計上又應(yīng)該注意哪些方面呢?
1. 使用光刻機溫度控制裝置還是水冷式冷水機
工業(yè)冷水機組的冷凝方式分為風(fēng)冷式和水冷式，對應(yīng)的設(shè)備也常被稱為光刻機溫度控制裝置組和水冷式工業(yè)冷水機組，光刻機溫度控制裝置組的選型先要考慮是否適合采用風(fēng)冷的冷凝方式
2. 確定制冷量需求
需要計算待控溫設(shè)備實際應(yīng)用所需要的制冷量是多少，通?？梢愿鶕?jù)客戶所提供的制冷量或壓縮機功率要求來直接確定，也可以根據(jù)實際工藝情況和經(jīng)驗來進行估算，需要注意的是通常所說光刻機溫度控制裝置組的制冷量指的是額定制冷量，還需要結(jié)合實際環(huán)境溫度等因素來計算。
3. 蒸發(fā)器的選擇
蒸發(fā)器類型：盤管式蒸發(fā)器 / 殼管式蒸發(fā)器 / 板式換熱器
蒸發(fā)器材質(zhì): 被冷卻液體（載冷劑）是否有耐酸耐堿等防腐要求，需要采用不銹鋼、鈦管等特殊材料
4. 循環(huán)水泵的選擇
應(yīng)結(jié)合應(yīng)用設(shè)備的管道、安裝距離、控溫精度等因素來確定光刻機溫度控制裝置組中冷凍水循環(huán)泵的流量及揚程。
光刻機溫度控制裝置的選型還有其他許多需要注意的方面，如供電電壓、冷媒是否有要求等等，在此不再一一贅述。
