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    光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)

    簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)

    • 產(chǎn)品型號:AES-4535
    • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    • 更新時(shí)間:2024-01-07
    • 訪  問  量:2501
    詳情介紹
    品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
    價(jià)格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
    儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,航天,制藥,汽車

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

     型號AES-4535
     AES-4535W
    AES-6035
     AES-6035W
    AES-8035
     AES-8035W
    AES-A1035WAES-A1235W
    溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
    制冷量-45℃2.5kW    
    -60℃ 2kW   
    -80℃  1.5kW  
    -100℃   1.2kW 
    -120℃    1.2kW
    溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
    溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間-25℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -25℃
    約20s
    -45℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -45℃
    約20s
    -55℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -55℃
    約15s
    -70℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -70℃
    約20s
    -80℃ to 150℃ 約11S
    150℃to  -80℃
    約20s
    空氣要求空氣濾清器<5um
    空氣含油量:<0.1ppm
    空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
    空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
    系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓)
    循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
    控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
    溫度控制控制出風(fēng)口溫度
    可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
    通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
    設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
    溫度反饋T型溫度傳感器
    壓縮機(jī)法國泰康/艾默生
    蒸發(fā)器套管式換熱器
    加熱器法蘭式桶狀加熱器
    制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥)
    操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
    安全防護(hù)具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
    制冷劑冠亞混合制冷劑
    外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
    外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
    外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
    風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī)
    水冷型 W帶W型號為水冷型
    水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
    冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
    G3/8
    1.2m³/h
    G3/4
    1.6m³/h
    G1
    2.6m³/h
    G1
    3m³/h
    G1
    電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
    電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
    外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035)
    溫度擴(kuò)展高溫到 +300℃

     

     

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

    光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)

    光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)

      光刻機(jī)制冷機(jī)組這是可以提供恒定溫度,電流和壓力的冷卻水設(shè)備使用時(shí),應(yīng)注意以下事項(xiàng)。

      1.在安裝過程中,請檢查機(jī)器是否損壞,并選擇合適的位置進(jìn)行安裝和以后的維護(hù)。

      2.設(shè)備的安裝地點(diǎn)是地板,安裝墊或地基,且水平度應(yīng)在范圍之內(nèi),并且能夠承受設(shè)備的工作重量。

      3.單元應(yīng)放置在室溫下,單元周圍和上方應(yīng)有足夠的空間進(jìn)行日常維護(hù)。

      4.在單元的一端,應(yīng)保留用于清潔冷凝器管束的抽氣空間,也可以使用門的開口或其他位置合適的孔。

      5.當(dāng)設(shè)備以大功率運(yùn)行時(shí),選擇具有適當(dāng)管徑的水管,冷卻系統(tǒng)和冷水系統(tǒng),并正確連接它們。

      6.對于普通應(yīng)用,通過蒸發(fā)器和冷凝器的水流速應(yīng)在范圍之間。

      7.在負(fù)載下,水流均應(yīng)保持穩(wěn)定。

      8.所有冷凍水和冷卻水管應(yīng)按照常規(guī)方法進(jìn)行設(shè)計(jì)和安裝。冷凍水泵應(yīng)位于設(shè)備的進(jìn)水管上,以確保設(shè)備中的正壓和流量。配管時(shí),應(yīng)設(shè)置減震管,以確保適當(dāng)?shù)膹椥?,并在水泵停止時(shí)防止蒸發(fā)器的水排出。

      9.應(yīng)獨(dú)立于組光刻機(jī)制冷機(jī)組牢固地支撐管道,以避免對組光刻機(jī)制冷機(jī)組的組件施加壓力。吊架的位置應(yīng)便于管道對齊。

      10.為了減少噪音和振動(dòng),好在管道上安裝振動(dòng)隔離器。

      11.為了經(jīng)濟(jì)有效地使用第光刻機(jī)制冷機(jī)組組,建議請水處理專家分析蒸發(fā)器和冷凝器的水質(zhì)。水質(zhì)差會(huì)導(dǎo)致結(jié)垢,影響傳熱,產(chǎn)生腐蝕沉淀,滋生有機(jī)物,影響裝置的性能并增加運(yùn)行和維護(hù)成本。

      12.一般來說,正確的水處理和定期清潔管束可以保持其良好性能。如果不能通過適當(dāng)?shù)姆椒ǜ纳片F(xiàn)有的水質(zhì)狀況,則使管束具有較大的結(jié)垢系數(shù)或使用特殊的結(jié)構(gòu)材料。

    在操作光刻機(jī)制冷機(jī)組時(shí),請注意上述事項(xiàng),這一定會(huì)使您受益。

     

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